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发明名称 INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05160213(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910318846 申请日期 1991.12.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NISHIOKA HISASHI;SUZUKI HIROSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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