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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05160159(A) 申请公布日期 1993.06.25
申请号 JP19910351066 申请日期 1991.12.10
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 KOYAKE MAKOTO
分类号 H01L21/02;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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