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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05166825(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910333263 申请日期 1991.12.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 NANBA MITSUO;MORI HIROSHI;ISHIKAWA MICHIO;WAKIMOTO EIJI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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