发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05218157(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920046073 申请日期 1992.01.31
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK 发明人 KOBAYASHI MINORU;YAMAURA TADASHI;NAGASAKI NOBUTAKA;KANAI TAKEO
分类号 H01L21/66;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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