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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05218157(A)
申请公布日期
1993.08.27
申请号
JP19920046073
申请日期
1992.01.31
申请人
HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK
发明人
KOBAYASHI MINORU;YAMAURA TADASHI;NAGASAKI NOBUTAKA;KANAI TAKEO
分类号
H01L21/66;H01L21/301;H01L21/78
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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