发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05226319(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920026656 申请日期 1992.02.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OBARA OSAMU
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址