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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE TRANSFER DEVICE AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 JPH05226451(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920023710 申请日期 1992.02.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UCHIYAMA YUJI
分类号 B25J15/06;B65H9/08;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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