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发明名称 CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH05226311(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920028268 申请日期 1992.02.14
申请人 BABCOCK HITACHI KK 发明人 FURUE TOSHIKI;KIKKO TOSHIAKI;NOMURA MITSUGI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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