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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05226276(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920028014 申请日期 1992.02.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KAKIUCHI TAKAO
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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