| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXY EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05234915(A) |
申请公布日期 |
1993.09.10 |
| 申请号 |
JP19920070360 |
申请日期 |
1992.02.20 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
FUJII SATOSHI;FUJITA YUKIHISA |
| 分类号 |
C23C14/40;C30B23/02;C30B25/14;H01L21/205;H01L21/26;H05H1/18;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C14/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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