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发明名称
HOCHVAKUUM-BESCHICHTUNGSANLAGE
摘要
申请公布号
DE4207525(A1)
申请公布日期
1993.09.16
申请号
DE19924207525
申请日期
1992.03.10
申请人
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE
发明人
WENK, KARL-HEINRICH, DIPL.-ING., 6350 BAD NAUHEIM, DE
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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