| 摘要 |
Barboteur destiné à être utilisé pour le dépôt d'un composé organométallique en phase vapeur comprenant: un récipient (12) contenant le composé organométallique, un tube d'admission (14) du gaz transporteur, un tube de sortie (16) du gaz transporteur, saturé ou partiellement saturé de composé organométallique, un tube d'interconnexion (22, 24) équipé de vannes situé entre les tubes d'admission et de sortie, et deux vannes (18 et 20) situées respectivement sur le tube d'admission et le tube de sortie, entre le tube d'interconnexion et le récipient. |
