| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05291242(A) |
申请公布日期 |
1993.11.05 |
| 申请号 |
JP19920093187 |
申请日期 |
1992.04.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
HATA KAZUHIRO;NAKAMURA ATSUSHI;SATO TOMOMI |
| 分类号 |
H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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