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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME
摘要
申请公布号 JPH05291127(A) 申请公布日期 1993.11.05
申请号 JP19920096328 申请日期 1992.04.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MATSUDA HIDEYUKI
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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