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发明名称 Lichtempfindliches Polymer mit Thiolgruppen.
摘要
申请公布号 DE68909848(D1) 申请公布日期 1993.11.18
申请号 DE19896009848 申请日期 1989.06.13
申请人 CHISSO CORP., OSAKA, JP 发明人 MAEDA, HIROTOSHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KUNIMUNE, KOUICHI, CHIBA-KEN, JP
分类号 G03F7/012;C08G73/10;C08G73/14;G03F7/037;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
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