发明名称 PROBE CARD AND INSPECTING METHOD FOR ITS SPECIFICATION
摘要
申请公布号 JPH05315414(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920143435 申请日期 1992.05.08
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITAGAKI KENJI
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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