发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICES
摘要
申请公布号 EP0450091(A4) 申请公布日期 1993.12.22
申请号 EP19900915172 申请日期 1990.10.12
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD. 发明人 MATSUSHITA, IKUYA OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD.
分类号 H01L21/308;H01L21/763;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
地址