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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0621458(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920175362 申请日期 1992.07.02
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOBAYASHI IZUMI
分类号 H01L27/11;H01L21/336;H01L21/8244;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
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