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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0645360(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920195473 申请日期 1992.07.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ARIMOTO YOSHIHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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