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发明名称 HIGH-POWER LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 HUT65057(A) 申请公布日期 1994.03.28
申请号 HU19930001094 申请日期 1991.10.24
申请人 FUSION SYSTEMS CORP. 发明人 DOLAN,JAMES T.;URY,MICHAEL G.;WOOD,CHARLES H.;WAYMOUTH,JOHN F.
分类号 G03F7/20;H01J17/20;H01J61/02;H01J61/073;H01J61/12;H01J61/38;H01J61/52;H01J61/54;H01J65/04;H05B41/24;(IPC1-7):H01J61/18;H01J61/22 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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