| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR TREATING FLAT SUBSTRATES UNDER REDUCED PRESSURE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0423327(B1) |
申请公布日期 |
1994.03.30 |
| 申请号 |
EP19900908310 |
申请日期 |
1990.05.07 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
VISSER, JAN |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/14;C30B31/14;H01L21/205;C30B33/02;H01L21/00;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):C30B25/10;C23C16/48 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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