| 摘要 |
다이 이젝팅 장치가 개시된다. 상기 장치는, 다이싱 테이프의 하부면에 밀착되고 상기 다이싱 테이프 상에 부착된 다이에 대응하며 복수의 에어 홀들이 형성된 이젝트 영역을 포함하는 후드와, 상기 이젝트 영역의 하부면을 스캔하면서 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위하여 상기 에어 홀들을 통해 상기 다이싱 테이프의 하부 영역에 에어를 제공하는 에어 슬라이드와, 상기 에어 슬라이드를 지지하며 상기 에어 슬라이드의 스캔 동작을 안내하기 위한 슬라이드 가이드와, 상기 에어 슬라이드의 스캔 동작을 위한 구동부를 포함한다. 특히, 상기 슬라이드 가이드에는 상기 에어를 공급하기 위한 에어 공급 홀이 구비되고, 상기 에어 슬라이드의 하부면에는 상기 에어 공급 홀과 연통하며 스캔 방향으로 연장하는 에어 공급 채널이 구비되며, 상기 에어 슬라이드의 상부면에는 상기 에어 공급 채널과 연결되는 에어 공급 노즐이 구비된다. |
