发明名称 |
一种离子溅射镀膜室 |
摘要 |
本实用新型涉及一种离子溅射镀膜室,包括真空室,真空室的内底部设有第一限位管,第一限位管内套装有第一旋调管,第一旋调管的端部上设有第一载物座,第一载物座上设有离子源;真空室的内底部设有第二限位管,第二限位管内套装有第二旋调管,第二旋调管的端部上设有第二载物座;第二载物座上设有光束光学镜;真空室的内底部设有第三限位管,第三限位管内套装有第三旋调管,第三限位管的端部上设有第三载物座,第三载物座上设有移动溅射靶;离子源、光束光学镜以及移动溅射靶设置在同一光路上。本实用新型方便对离子源进行调节,方便对光束光学镜进行调节,方便对移动溅射靶进行调节;离子源通过光束光学镜可以对移动溅射靶实现离子溅射镀膜。 |
申请公布号 |
CN205839117U |
申请公布日期 |
2016.12.28 |
申请号 |
CN201620590347.0 |
申请日期 |
2016.06.16 |
申请人 |
浙江鼎梓塑胶科技有限公司 |
发明人 |
丁庆峰 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
肖平安 |
主权项 |
一种离子溅射镀膜室,包括真空室(11),其特征在于:真空室(11)的一侧设有第一密封门(12),真空室(11)的另一侧设有第二密封门(13),真空室(11)的内底部设有第一限位管(15),第一限位管(15)呈竖直布置,第一限位管(15)内套装有第一旋调管(16),第一旋调管(16)的外表面设有外螺纹,第一限位管(15)的内表面设有内螺纹,第一限位管(15)与第一旋调管(16)通过螺纹连接,第一旋调管(16)的端部上设有第一载物座(17),第一载物座(17)上设有离子源(18);真空室(11)的内底部设有第二限位管(19),第二限位管(19)内套装有第二旋调管(20),第二旋调管(20)的外表面设有外螺纹,第二限位管(19)的内表面设有内螺纹,第二限位管(19)与第二旋调管(20)通过螺纹连接,第二旋调管(20)的端部上设有第二载物座(21);第二载物座(21)上设有光束光学镜(22);真空室(11)的内底部设有第三限位管(23),第三限位管(23)呈竖直布置,第三限位管(23)内套装有第三旋调管(24),第三旋调管(24)的外表面设有外螺纹,第三限位管(23)的内表面设有内螺纹,第三限位管(23)与第三旋调管(24)通过螺纹连接,第三限位管(23)的端部上设有第三载物座(25),第三载物座(25)上设有移动溅射靶(28);离子源(18)、光束光学镜(22)以及移动溅射靶(28)设置在同一光路上。 |
地址 |
浙江省金华市义乌市赤岸镇特色工业小区 |