| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING DEFECTS ON WAFERS |
| 摘要 |
레이저 회절계 (diffractometry) 에 의해 검출될 수 없는 디펙트들에 바인딩할 수 있는 화학적 마커들을 사용하여 부분적으로 제조된 반도체 웨이퍼들 상의 입자 디펙트들을 검출하기 위한 방법들 및 장치들이 본 명세서에 제공된다. |
| 申请公布号 |
KR20160117287(A) |
申请公布日期 |
2016.10.10 |
| 申请号 |
KR20160037513 |
申请日期 |
2016.03.29 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
PIRKLE DAVID |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/67;H01L27/148 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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