| 摘要 |
본 발명은 변위 검출 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 와전류(Eddy Current) 방식의 센서를 이용하여 임피던스 변화를 내장 회로에 의해 주파수 변화로 변환하여 검출하는 변위 검출 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 변위 검출 장치 및 방법은, 환경 노이즈에도 강하고, 변위 검출의 정밀도를 확보하므로 사용자가 원하는 요구 성능에 부합하는 제품을 제공할 수 있으며, 아날로그 신호 보정시 부담되는 비용도 절감되므로 경제성을 확보하는 데도 효과가 있다. |
