METHOD AND SYSTEM FOR SCRIBING BRITTLE MATERIAL FOLLOWED BY CHEMICAL ETCHING

摘要

투명기판 내에서 매우 정밀한 폐쇄형 구조를 필라멘트 형성을 통하여 매우 빠르게 묘각할 수 있고, 수정된 영역은 건식 또는 습식으로 식각하여 폐쇄형 구조를 분리해 낼 수 있다. 금속 막은 투명기판과 맞물려지고 포토레지스트로 덮어진다. 금속 막 일부와 포토레지스트 막 일부는 투명기판을 통과하는 필라멘트 형성에 의해 동시에 제거된다. 포토레지스트는 제거되지 않는 금속 막 부위를 보호한다. 원하는 형상은 절단 영역을 건식 또는 습식으로 식각하여 약하게 함으로써 분리될 수 있다.