| 发明名称 | 衬底‑产品衬底‑组合以及用于制造衬底‑产品衬底‑组合的设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底‑产品衬底‑组合的方法，其中，所述衬底(2，2′)在接触时具有比所述载体衬底(5，5′)的平均直径d2更大的平均直径d1。此外，本发明还涉及一种用于通过将平面衬底(2，2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5，5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底‑产品衬底‑组合的衬底(2，2′)，其中，所述衬底(2，2′)具有直径d1，该直径在背面减薄时可通过所述衬底(2，2′)的横截面的形状在其周缘轮廓(2u)上减小。另外，本发明还涉及一种相对应的设备和一种用于将具有平均直径d1的平面衬底(2)用于与具有平均直径d2的载体衬底(5)进行对准和接触以便对所述平面衬底(2)进行再加工的用法，其中，平均直径d1大于平均直径d2。 | ||
| 申请公布号 | CN104662652B | 申请公布日期 | 2016.12.28 |
| 申请号 | CN201280073963.3 | 申请日期 | 2012.06.12 |
| 申请人 | 埃里希·塔尔纳 | 发明人 | 埃里希·塔尔纳 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 朱君;刘春元 |
| 主权项 | 一种用于通过将作为产品衬底的平面衬底（2，2'）的接触面（2o）与用作所述平面衬底（2，2'）的加固件的载体衬底（5，5'）的支撑面（5o）对准、接触和接合来制造支撑衬底‑产品衬底‑组合的方法，其中，所述平面衬底（2，2'）在接触时具有比所述载体衬底（5，5'）的平均直径d2更大的平均直径d1，其中，所述平面衬底（2，2'）在接触后被背面减薄，并且直径d1通过所述平面衬底（2，2'）的横截面的形状在其周缘轮廓（2u）上减小至d1≤d2，其特征在于，所述载体衬底（5，5'）的边缘半径小于0.5mm，而所述平面衬底（2，2'）的边缘半径大于1mm。 | ||
| 地址 | 奥地利圣弗罗里安 | ||