流量测量装置和流量控制装置

摘要

本发明提供流量测量装置(10)和流量控制装置(100)，能提高流量测量精度而不损害紧凑性。流量测量装置(10)包括：流过测量对象流体的流体阻力部件(3)；上游压力传感器(21)，能依对象流体导向的感压面上粘贴的电阻元件(2B)的电阻值的变化测量流体阻力部件(3)的上游压力，且能依电阻元件(2B)因温度产生的电阻值的变化测量所述感压面的温度；温度检测部件(8)，配置于能测量流过流体阻力部件(3)的对象流体的温度的位置；以及流量计算部(9)，至少根据由上游压力传感器(21)测量到的上游流路的压力、所述流体阻力部件的压力—流量特性、由上游压力传感器(21)测量到的压力传感器的温度和由温度检测部件(8)测量到的流体阻力部件(3)中的对象流体的温度，计算出该对象流体的流量。

主权项

一种流量测量系统，其包括多个流量测量装置，所述流量测量系统的特征在于，所述流量测量装置包括：主体单元，具有长边方向，在该主体单元中形成有流过测量的对象流体的内部流路；流体阻力部件，以切断所述内部流路的方式安装在所述主体单元上，流过所述对象流体；上游压力传感器，包括感压面，所述流体阻力部件的上游的所述对象流体导向该感压面，所述上游压力传感器能根据以与该感压面的变形联动而变形的方式设置的电阻元件的电阻值的变化测量所述对象流体的压力，并且能根据所述电阻元件因温度产生的电阻值的变化测量该压力传感器的温度；温度检测部件，配置于能测量流过所述流体阻力部件的所述对象流体的温度的位置；以及流量计算部，根据由所述上游压力传感器测量到的上游流路的压力、所述流体阻力部件的压力—流量特性、由所述上游压力传感器测量到的上游压力传感器的温度及由所述温度检测部件测量到的所述流体阻力部件中的所述对象流体的温度的至少两个温度，计算出所述对象流体的流量，所述上游压力传感器安装在所述主体单元上，多个所述流量测量装置构成为：多个所述主体单元彼此贴紧或接近配置，多个所述内部流路并联。