发明名称 |
基底基板、电子器件及其制造方法以及电子设备 |
摘要 |
基底基板、电子器件及其制造方法以及电子设备。本发明的基底基板的制造方法包括以下步骤:准备绝缘体基板;在所述绝缘体基板上形成以包含钨和钼中的至少一种的熔点为1000℃以上的金属为主成分的第1膜;在所述第1膜上形成以镍为主成分且包含硼的第2膜;对所述第1膜和所述第2膜进行烧结处理而形成第1金属层;以及在所述第1金属层上形成以钯为主成分的第2金属层。 |
申请公布号 |
CN103524149B |
申请公布日期 |
2016.12.28 |
申请号 |
CN201310246968.8 |
申请日期 |
2013.06.20 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
镰仓知之 |
分类号 |
H05K3/38(2006.01)I;H05K3/46(2006.01)I;C04B41/90(2006.01)I |
主分类号 |
H05K3/38(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉;马建军 |
主权项 |
一种基底基板的制造方法,其特征在于,该基底基板的制造方法包括以下步骤:准备绝缘体基板;在所述绝缘体基板上形成以包含钨和钼中的至少一种的熔点为1000℃以上的金属为主成分的第1膜;在所述第1膜上形成以镍为主成分且包含硼的第2膜;对所述第1膜和所述第2膜进行烧结处理而形成第1金属层;在所述第1金属层上形成以钯为主成分的第2金属层;以及在所述第2金属层上形成包含金的第4金属层。 |
地址 |
日本东京都 |