一种硅片真空堆垛机

摘要

本实用新型涉及一种硅片真空堆垛机，包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵，所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上，所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上，所述液压缸和所述真空泵设于所述移动定位车上，所述提取夹钩和所述提取吸盘设于所述悬架上，所述提取夹钩连接所述液压缸，所述真空泵连接所述提取吸盘，所述支架上设有若干接近开关。与已有技术相比，本实用新型的有益效果在于：吸盘损耗小，效率高，支持自动运行，堆放整齐，出错率低。

主权项

一种硅片真空堆垛机，其特征在于，包括支架、伺服电机、移动定位车、悬臂、悬架、提取夹钩、提取吸盘、控制器、液压缸和真空泵，所述移动定位车通过所述伺服电机可移动地设于所述支架上，所述悬架通过所述悬臂设于所述移动定位车上，所述液压缸和所述真空泵设于所述移动定位车上，所述提取夹钩和所述提取吸盘设于所述悬架上，所述提取夹钩连接所述液压缸，所述真空泵连接所述提取吸盘，所述支架上设有若干接近开关。