太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备

摘要

本发明公开了一种太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，包括机架、硅片传送机构、激光发生装置、荧光成像模块和图像采集‑处理模块，所述激光发生装置、至少一个荧光成像模块和图像采集‑处理模块分别固设于机架上，硅片传送机构能够输送待检测硅片到达检测位置，激光发生装置能够发射垂直于硅片运动方向的激光线并照射检测位置的待检测硅片，荧光成像模块能够对检测位置的硅片发出的荧光信号进行探测并传信于图像采集‑处理模块进行分析和处理，本发明极大的提高了光致荧光成像技术对硅材料的检测速度和最终图像的信噪比，适合产线上的实时检测应用。

主权项

一种太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：包括机架、硅片传送机构(1)、激光发生装置、荧光成像模块(3)和图像采集‑处理模块(4)，所述激光发生装置、至少一个荧光成像模块(3)和图像采集‑处理模块(4)分别固设于机架上，硅片传送机构(1)能够输送待检测硅片到达检测位置，激光发生装置能够发射垂直于硅片运动方向的激光线并照射检测位置的待检测硅片，荧光成像模块(3)能够对检测位置的硅片发出的荧光信号进行探测并传信于图像采集‑处理模块(4)进行分析和处理，所述激光发生装置包括激光线照明模块(2)和光纤耦合半导体激光器(6)，激光线照明模块(2)和光纤耦合半导体激光器(6)通过光纤输出头(7)相连接，激光线照明模块(2)能够将光纤输出头(7)输出的激光整形为超细、高均匀激光线，所述激光线照明模块(2)包括沿光线方向依次排列的球面准直透镜组(11)、二向色镜(12)、柱面镜阵列(13)、负柱面镜(14)、第一正柱面镜(15)、第二正柱面镜(16)、柱面镜组(17)，其中负柱面镜(14)、柱面镜组(17)与柱面镜阵列(13)、第一正柱面镜(15)、第二正柱面镜(16)的面型方向垂直。