基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明的基板处理装置，将基板搬送于第1方向并对基板的被处理面进行处理，具备：将基板引导于第1方向的第1引导构件，与第1引导构件分离配置、用以引导被第1引导构件引导的基板的第2引导构件，在第1引导构件与第2引导构件之间对基板赋予张力以使基板在与第1方向交叉的第2方向的尺寸缩小的张力赋予机构，以及在第1引导构件与第2引导构件之间对基板的被处理面进行处理的处理装置。

主权项

一种基板处理装置，将基板搬送于第1方向并对所述基板的被处理面进行处理，具备：第1引导构件，将所述基板引导于所述第1方向；第2引导构件，与所述第1引导构件分离配置，用以引导被所述第1引导构件引导的所述基板；张力赋予机构，在所述第1引导构件与所述第2引导构件之间，以获得所述基板的尺寸在与所述第1方向交叉的第2方向以既定比率收缩的第1部分、与收缩比率有所变化的第2部分的方式，对所述基板赋予所述第1方向的张力；以及处理装置，在所述第1引导构件与所述第2引导构件之间，于对应所述第1部分与所述第2部分的任一者的所述基板的被处理面形成图案。