蚀刻剂组合物以及用于蚀刻多层金属膜的方法

摘要

本发明涉及蚀刻剂组合物以及用于蚀刻多层金属膜的方法。具体而言，本发明涉及用于蚀刻多层金属膜的蚀刻剂组合物，其中所述多层金属膜包括由Cu或Cu合金组成的一或多个层和由Mo或Mo合金组成的一或多个层，且所述蚀刻剂组合物包含数量从约50wt%至约80wt%的磷酸；数量从约0.5wt%至约10wt%的硝酸；数量从约4wt%至约30wt%的醋酸；数量从约0.5wt%至约6wt%的含氯化合物；以及就所述蚀刻剂组合物的总重量而言占剩余量的水，以及用于通过使用所述蚀刻剂组合物蚀刻所述多层金属膜的方法。

主权项

一种用于蚀刻多层金属膜的蚀刻剂组合物，其中所述多层金属膜包括由Cu或Cu合金组成的一或多个层和由Mo或Mo合金组成的一或多个层，以及相对于所述蚀刻剂组合物的总重量，所述蚀刻剂组合物包括：数量从50wt％至80wt％的磷酸；数量从0.5wt％至10wt％的硝酸；数量从4wt％至30wt％的醋酸；数量从0.5wt％至6wt％的含氯化合物；以及剩余量的水，其中所述由Cu或Cu合金组成的一或多个层与所述由Mo或Mo合金组成的一或多个层的厚度比在从5:1至600:1的范围内。