用于共模抑制的带有耦合弹簧的惯性传感器

摘要

本公开描述一种MEMS装置，其包括耦合一对能运动块的两个弹簧系统。所述弹簧系统中的每个弹簧系统包括受约束的刚性梁和一对挠曲部，其中，一个挠曲部直接耦合至所述刚性梁的一端并耦合至所述能运动块中的一个能运动块，并且另一挠曲部直接耦合至所述刚性梁的相对端并耦合至另一个能运动块。响应于所述能运动块的驱动运动，所述挠曲部使得所述受约束刚性梁能够枢转运动，使得所述刚性梁在围绕所述刚性梁的中心铰接点的相对方向枢转。这种枢转运动使得所述驱动块能够反相线性振荡运动同时基本上遏制或以其他方式抑制所述能运动块的同相运动。

主权项

一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：基板；第一能运动块和第二能运动块，其悬置在所述基板的表面上方；以及第一弹簧系统和第二弹簧系统，用于将所述第一能运动块耦合至所述第二能运动块，所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统被设置在所述MEMS装置的镜像对称轴的相对侧上，所述镜像对称轴大体上平行于所述第一能运动块和所述第二能运动块的运动方向，其中，所述第一弹簧系统和所述第二弹簧系统中的每个弹簧系统包括：刚性梁，其具有横向于所述第一能运动块和所述第二能运动块的所述运动方向朝向的纵长尺寸；第一挠曲部，其直接耦合至所述刚性梁的第一端并直接耦合至所述第一能运动块；以及第二挠曲部，其直接耦合至所述刚性梁的第二端并直接耦合至所述第二驱动块。