具有冷却功能的基板搬运机器人

摘要

本实用新型提供了一种具有冷却功能的基板搬运机器人，包括主体支撑部，在所述主体支撑部上设置多个指叉，所述指叉表面嵌入设置温度传感器，所述温度传感器连接控制器，在所述主体支撑部与所述指叉连接处设置向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴，所述喷嘴的开关连接控制器。使用本实用新型时，将指叉置于玻璃基板下方，喷嘴喷射冷却流体，温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器，当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时，控制器控制机械手开始搬运基板，同时喷嘴不停止喷射冷却流体，完成搬运过程。本实用新型的机械手在搬运玻璃基板之前以及搬运过程中持续释放冷却流体对玻璃基板进行冷却，防止基板发生形变进而成为残次品。

主权项

一种具有冷却功能的基板搬运机器人，包括主体支撑部（1），在所述主体支撑部（1）上设置多个指叉（2），其特征在于，所述指叉表面嵌入设置温度传感器（3），所述温度传感器（3）连接控制器，在所述主体支撑部（1）与所述指叉（2）连接处设置能够向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴（4），所述喷嘴（4）的开关连接控制器。