| 摘要 |
多様な半導体基板保管用物品、特にＦＯＵＰドアを洗浄するための方法及びシステムを提供する。ＦＯＵＰドア及び他の同様の物品は、被覆されていない場合に洗浄液によって汚染され得る開口を有する場合が多い。本明細書に記載の洗浄システムは、物品に係合してこれらの開口を被覆するための接点を含む。上記接点はまた、物品を支持するため、及びガスを用いて物品の開口を加圧するためにも使用してよい。このガスは、１つ又は複数の接点を通して供給してよい。このガスは、開口が完全に密閉されていない場合であっても、液体が開口に入るのを防ぐ。加圧は、洗浄プロセスの湿式部分全体を通して維持してよい。物品は、洗浄液及び／若しくは他の液体又はガスが複数の噴霧ノズルのセットを通して吐出されている間、洗浄システム内で回転してよい。噴霧ノズルは、物品の洗浄を高めるために移動してよい。【選択図】図１１ |
