Self-Powered Sensor Using Triboelectrification

摘要

본 발명에 따른 정전기를 이용한 자가전원 센서는 하부전극인 기판; 기판에서 기립되어 형성된 제1 산화물 반도체; 제1 산화물 반도체의 말단 부분에 작은 구입자 모양으로 이종접합 형성된 제2 산화물 반도체; 및 제1 산화물 반도체 또는 제2 산화물 반도체에 맞닿도록, 제1폴리머 유전층과 제2폴리머 유전층이 하방으로 배열된 상부 전극;을 포함하여, 비교적 간단한 공정으로 다종의 특성을 갖는 센서 배열을 생산할 수 있는 효과가 있다.