| 摘要 |
본 발명의 일 실시예에 따른 이중 진공 배관은, 제 1 이너배관; 상기 제 1 이너배관과 내부가 연통되는 제 2 이너배관; 상기 제 1 이너배관이 내부에 삽입되어 배치되고, 상기 제 1 이너배관 사이에 제 1 진공챔버를 형성시키는 제 1 아우터배관; 상기 제 2 이너배관이 내부에 삽입되어 배치되고, 상기 제 1 아우터배관과 연통되며, 상기 제 2 이너배관 사이에 제 1 진공챔버를 형성시키는 제 2 아우터배관; 상기 제 1 이너배관 및 제 1 아우터배관과 결합되는 제 1 플랜지; 상기 제 2 이너배관 및 제 2 아우터배관과 결합되는 제 2 플랜지; 및 상기 제 1 플랜지 및 제 2 플랜지를 밀착시키는 클램프; 를 포함한다. |
