透明波导电磁波等离子体光源

摘要

一种透明波导电磁波等离子体光源具有熔融石英片的加工件1和拉制管。内部密封中空包围件2由8mm外径、4mm内径的拉制管形成。电磁波可激发等离子体材料被密封在包围件内。端部板5是圆形的并且包围件2被密封在其中的中心孔中，孔未被标记。类似的板6被定位为在包围件的内端部和自身之间留有小的间隔。两个管与两个板同心，两个板与它们的中心轴成直角延伸。外部管7从内部板6的背面向后延伸作为裙部9。该结构提供：·板之间的环形腔体11，其围绕中空包围件并在外部管内；裙状凹口13。容纳在裙状凹口中的是尺寸被设计为通过滑动配合而适合凹口的氧化铝的直立圆柱块14。具有T形/扣状头部19的天线18被容纳在氧化铝块中的孔15和埋头孔16中。石英加工件1和氧化铝块14被容纳在法拉第罩20中，法拉第罩20在端部板5处延伸跨越加工件并且沿着外部管向后延伸至腔体10的范围。罩具有无孔的裙部22，裙部22比石英裙部9进一步向后延伸8mm。

主权项

一种透明波导电磁波等离子体光源，包括加工件、法拉第罩以及至少部分感应耦合部件，所述加工件由固态介电透明材料制作，该加工件至少提供包含电磁波可激发等离子体材料的密封中空，所述法拉第罩包封所述加工件，或者包封所述加工件的一部分，所述加工件的未被法拉第罩包封的部分包围所述密封中空的一部分，并且延伸通过所述法拉第罩以使得不在所述法拉第罩和波导空间的第二区域内，该法拉第罩至少部分透明，用于使光从中发出，该法拉第罩限定波导，所述波导具有波导空间，所述加工件占据所述波导空间的至少一部分，所述至少部分感应耦合部件用于在至少大致由固态介电材料围绕的位置处将激发等离子体的电磁波引入所述波导中，由此，在引入确定频率的电磁波时，在所述密封中空中建立等离子体并且光经由所述法拉第罩出射，所述加工件、所述法拉第罩以及所述至少部分感应耦合部件被布置为使得存在：所述波导空间的第一区域，该第一区域在所述法拉第罩的相对侧之间延伸，所述第一区域容纳所述感应耦合部件，并且具有相对较高的体积平均介电常数；以及所述波导空间的第二区域，该第二区域在所述法拉第罩的相对侧之间延伸，所述第二区域不同于所述第一区域，所述第二区域具有相对较低的体积平均介电常数，并且被固态介电透明材料的加工件占据，所述第二区域包括单独的包含电磁波可激发等离子体材料的密封中空，或者包含电磁波可激发等离子体材料的密封中空和所述加工件内的腔体，或者包含电磁波可激发等离子体材料的密封中空和所述加工件与所述法拉第罩之间的波导空间的空的部分，或者包含电磁波可激发等离子体材料的密封中空以及所述加工件内的腔体和所述加工件与所述法拉第罩之间的波导空间的空的部分，所述加工件的透明材料允许来自所述密封中空中的所述等离子体材料的光经由至少部分透明法拉第罩出射。