一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法

摘要

本发明公开了一种微米尺度材料应变检测装置及其检测方法，该装置包括三维微动步进电机平台、压电位移管和检测电极，所述的三维微动步进电机平台下方垂直设有压电位移管，所述的检测电极设置在所述的压电位移管下方，所述的检测电极与三维微动步进电机相互平行，所述的检测电极下方设有样品底座。该方法是将检测电极放置到距离接近试样最大形变处，使试样与检测电极形成微小电容。当试样动态形变时，微小电容会产生变化，将高频载波施加在待测试样上，可准确检测电容的变化，即可测量试样产生的应变。将测量的应变信号通过锁相技术进行解耦，可以获得应变信号的振幅与应变落后于参考信号的相角差。本发明具有结构简单可靠、检测精确的优点。

主权项

一种微米尺度材料应变检测装置，其特征在于：该装置包括三维微动步进电机平台、压电位移管和检测电极，所述的三维微动步进电机平台下方垂直设有压电位移管，所述的检测电极设置在所述的压电位移管下方，在所述的检测电极与三维微动步进电机相互平行，所述的检测电极下方设有样品底座。