一种承载装置及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种承载装置及等离子体加工设备，包括托盘和盖板，托盘用于承载多个被加工工件；盖板采用绝缘材料制成，且叠置在托盘的上表面，并且在盖板上设有多个通孔，通孔的数量和位置与置于托盘上的被加工工件的数量和位置一一对应；被加工工件置于托盘的上表面，且位于相应的通孔内；在盖板的下表面上设置有朝向托盘凸出，并环绕所述托盘的外周壁设置的闭合的环形凸部，该环形凸部采用绝缘材料制成，用以使托盘的外周壁与外界电绝缘。本发明提供的承载装置，其即使在托盘与外界之间存在较大的电压差时，也能够保证托盘的整个外表面与外界电绝缘，从而不仅可以提高托盘的使用寿命，而且还可以提高等离子体加工设备的稳定性。

主权项

一种等离子体加工用的承载装置，包括托盘和盖板，所述托盘用于承载多个被加工工件；所述盖板采用绝缘材料制成，且叠置在所述托盘的上表面，并且在所述盖板上设有多个通孔，所述通孔的数量和位置与置于所述托盘上的被加工工件的数量和位置一一对应；所述被加工工件置于所述托盘的上表面，且位于相应的所述通孔内；其特征在于，在所述盖板的边缘设置有朝向所述托盘凸出，并环绕所述托盘的外周壁设置的闭合的环形凸部，所述环形凸部采用绝缘材料制成，用以使所述托盘的外周壁与外界电绝缘。