发明名称 可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置
摘要 本发明公开了一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置,包括套筒组件、连接件和俯仰倾斜二维调整架,连接件为中空圆柱体,两端内径相等,外径不同,在外径较小的一端通过螺纹固定在套筒组件的侧壁上,另一端通过螺纹与俯仰倾斜二维调整架连接。本装置结构简单,体积小,装调方便,适用性强,可应用在干涉显微镜中,为表面微观三维轮廓的高精度测量提供必要手段。
申请公布号 CN104422398B 申请公布日期 2016.12.28
申请号 CN201310364091.2 申请日期 2013.08.20
申请人 南京理工大学 发明人 马骏;谢佳丽;高志山;朱日宏;李闽珏;牟天予
分类号 G01B11/24(2006.01)I 主分类号 G01B11/24(2006.01)I
代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国
主权项 一种可调节的迈克尔逊型的干涉显微套筒装置,其特征在于:包括套筒组件[26]、连接件[14]和俯仰倾斜二维调整架[25],连接件[14]为中空圆柱体,两端内径相等,外径不同,在外径较小的一端通过螺纹固定在套筒组件[26]的侧壁上,另一端通过螺纹与俯仰倾斜二维调整架[25]连接;套筒组件[26]包括套筒[6]、第一压圈[7]、分光镜[8],套筒[6]两端外径均不同,外径小的一端带有外螺纹,通过外螺纹与显微镜物镜转换器连接,外径大的一端带有内螺纹,通过内螺纹与显微物镜连接,在外径小的一端设有第一深孔[2],在第一深孔[2]下方设置横截面为正方形的正方形深孔[3],在正方形深孔[3]下方设置第二深孔[4],第二深孔[4]下方设置第三深孔[5],第三深孔[5]带有内螺纹与显微物镜连接,套筒[6]侧壁设置第四深孔[9],通过第四深孔[9]与连接件[14]连接,在第四深孔[9]另一端设置纵截面为正方形的第五深孔[10],第五深孔[10]另一端与正方形深孔[3]连通,第一压圈[7]通过螺纹将分光镜[8]固定在套筒[6]的正方形深孔[3]中,第五深孔[10] 的中心轴与第四深孔[9]的中心轴重合且经过分光镜[8]的几何中心;分光镜[8]为边长为a<sub>0</sub>的正方体,显微物镜的长度为l<sub>0</sub>,工作距为l<sub>d</sub>,通光孔径为D<sub>0</sub>,套筒[6]外径小的一端外径的半径为r<sub>0</sub>,高度为d<sub>0</sub>,第一深孔[2]半径为r<sub>1</sub>,深度为d<sub>1</sub>,2 r<sub>1</sub>&gt; a<sub>0</sub>,正方形深孔[3]横截面的边长为a<sub>1</sub>,深度为d<sub>2</sub>,d<sub>2</sub>&lt; a<sub>1</sub>=a<sub>0</sub>,第二深孔[4]半径为r<sub>3</sub>,深度为d<sub>3</sub>,D<sub>0</sub>&lt;2r<sub>3</sub>=a<sub>1</sub>,第三深孔[5]半径为r<sub>4</sub>,深度为d<sub>4</sub>,r<sub>0</sub>= r<sub>4</sub>,第一深孔[2]、正方形深孔[3]、第二深孔[4]和第三深孔[5]的几何中心同轴,第四深孔[9]半径为r<sub>5</sub>,深度为d<sub>5</sub>,第五深孔[10]的纵截面边长为a<sub>2</sub>,深度为d<sub>6</sub>,D<sub>0</sub>&lt; a<sub>2</sub>&lt;2r<sub>5</sub>,第一压圈[7]的内圈半径为r<sub>7</sub>,厚度为d<sub>7</sub>, r<sub>7</sub>&gt; a<sub>0</sub>,d<sub>7</sub>&lt; d<sub>1</sub>。
地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
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