小型顕微鏡

摘要

小型顕微鏡は、筐体と、支持部材と、筺体内に配置され支持部材によって支持された一次光学支持部材と、支持体と一次光学支持部材との間にある少なくとも一つの防振架台と、照明部と、対物レンズ系と、一次光学支持部材に搭載される試料ステージと、照明光ビームを照明部から試料ステージに導く照明光学系と、試料ステージから戻り光を受光しそれを検出装置に伝送する戻り光学系とを備え、照明光学系および戻り光学系は、一次光学支持部材に搭載される。【選択図】図２