| 摘要 |
기판 표면 전체에 균일성 높게 현상액의 액막을 형성하고 또한 높은 스루풋을 얻을 수 있는 도포 현상 장치를 제공한다. 현상 모듈과, 세정 모듈과, 상기 현상 모듈에 의해 현상된 기판을 상기 세정 모듈로 반송하는 반송 기구를 구비하고, 상기 현상 모듈은, 처리 분위기를 형성하는 기밀한 처리 용기와, 이 처리 용기 내에 설치되며 기판을 재치하여 냉각시키기 위한 온조 플레이트와, 상기 처리 용기 내로 현상액의 미스트를 포함하는 분위기 가스를 공급하는 증기 공급부와, 상기 온조 플레이트를 상기 증기가 기판 상에 결로되는 온도로 조정하기 위한 온조부를 구비하도록 도포 현상 장치를 구성한다. 현상 모듈과 세정 모듈에서 병행하여 처리를 행할 수 있으므로, 높은 스루풋을 얻을 수 있다. |
