用于节省空间的应用的可分离的微构件和纳米构件

摘要

本发明涉及一种节省空间的微构件及纳米构件及其制造方法。所述构件的特征在于，所述构件不具有刚性、具有较大厚度的基体。这里在构件内部导致变形和/或拱曲的机械应力通过机械应力补偿结构和/或通过利用沉积适当的应力补偿层实现的主动的机械应力补偿得到补偿，从而没有设置较厚的基体的需要。由此减小的构件的总厚度并且改进了其在技术系统中的可集成性。附加地扩展了这种构件的使用领域。

主权项

一种构件(2)，所述构件具有1至50μm的厚度，其中所述构件(2)是无基体的并且具有至少一个带有预定的机械应力的应力补偿层(5)，用于补偿所存在的机械应力，以便防止拱曲和起皱，所述基体包括所有附加的用于保持预定的形状和/或用于承受机械应力的元件，其中，所述构件(2)设置成用于实现传感器的任务。