一种压电谐振器

摘要

本发明公开了一种压电谐振器，包括工作区，工作区由压电薄膜层及形成于压电薄膜层的上表面上的上金属电极和形成于压电薄膜层的下表面上的下金属电极组成，压电薄膜层由等高度的一个中心圆柱压电体和多个直径各不相同的筒状压电体组成，小直径的筒状压电体同轴位于大直径的筒状压电体内，中心圆柱压电体同轴位于具有最小直径的筒状压电体内，优点是这种结构不仅减小了寄生振动模式的幅度，而且能够有效地提高机电耦合系数。

主权项

一种压电谐振器，包括工作区，所述的工作区由压电薄膜层及形成于所述的压电薄膜层的上表面上的上金属电极和形成于所述的压电薄膜层的下表面上的下金属电极组成，其特征在于所述的压电薄膜层由等高度的一个中心圆柱压电体和多个直径各不相同的筒状压电体组成，小直径的所述的筒状压电体同轴位于大直径的所述的筒状压电体内，所述的中心圆柱压电体同轴位于具有最小直径的所述的筒状压电体内，且相邻两个所述的筒状压电体之间及具有最小直径的所述的筒状压电体与所述的中心圆柱压电体之间均存在环形间隙，所述的筒状压电体的壁厚与所述的筒状压电体的高度之比为(0.5～1.5)：1。