一种对石墨烯进行硫掺杂的方法

摘要

本发明提供一种对石墨烯进行硫掺杂的方法，包括步骤：1）提供石墨烯，将所述石墨烯置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于500~1050℃下通入硫源气体对所述石墨烯进行硫掺杂；4）于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。本发明可以简单高效的对石墨烯进行硫掺杂，经济成本低，可大规模生产；可以实现对石墨烯进行大面积的硫掺杂；可直接对绝缘衬底或金属衬底上的石墨烯进行掺杂，便于制作硫掺杂石墨烯器件；制备过程中，可以通过调节硫源气体流量控制硫掺杂浓度，从而实现对石墨烯进行可控掺杂。

主权项

一种对石墨烯进行硫掺杂的方法，其特征在于，至少包括以下步骤：1)提供石墨烯，将所述石墨烯置于化学气相沉积反应腔中；2)采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3)于500～1050℃下通入硫源气体及载气对所述石墨烯进行硫掺杂，其中，所述硫源气体包括硫化氢或硫化羰；所述载气包括惰性气体及氢气；4)于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。