一种玻璃基板及其制备方法

摘要

本发明公开了一种玻璃基板及其制备方法，其中玻璃基板的表面沉积有一层透明、耐摩擦、抗划伤和硬质的类金刚石薄膜。本发明的玻璃基板具有高的可见光透射比与太阳光谱透射比，耐摩性较未镀膜玻璃基板大幅度提高。

主权项

一种制备玻璃基板的方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步：准备玻璃基板选取超白玻璃片、石英玻璃片或各种经过加工处理过的玻璃基板一块，并依次用去离子水、异丙醇、去离子水各清洗10min～15min，再用氮气吹干待用；第二步：等离子体清洗采用平板式电容耦合型等离子体增强化学气相沉积装置，所述玻璃基板放在负电位端，将腔室的本底抽真空，通入高纯氩气或氧气起辉，生成等离子体，进行等离子清洗3min～6min，清洗结束后将玻璃基板在真空中静置5min～10min，待玻璃基板表面冷却；第三步：等离子体沉积镀膜停止通入氩气或氧气，将镀膜腔室本底重新抽真空，然后通入高纯甲烷，使用自适应压力控制器平衡腔室内的真空，开启射频电源产生等离子体，在玻璃基板上沉积类金刚石薄膜。