切割装置、研磨垫的制造方法以及研磨垫

摘要

本发明提供一种切割装置、研磨垫的制造方法以及研磨垫；切割装置用于切割研磨垫半成品，以去除研磨垫半成品的一部分成为研磨层，或将研磨垫半成品以面呈平行的方式切割为至少两片研磨层，来制造研磨垫。上述切割装置包括输入机构以及可移动刀具。输入机构用于输入研磨垫半成品，可移动刀具用于切割研磨垫半成品。当进行切割时，可移动刀具沿着第一方向运动，研磨垫半成品沿着第二方向运动，且第一方向与第二方向之间具有一夹角。

主权项

一种切割装置，用于切割一研磨垫半成品，以去除该研磨垫半成品的一部分成为一研磨层，或将该研磨垫半成品以面呈平行的方式切割为至少二片研磨层，来制造一研磨垫，其特征在于，该切割装置包括：一输入机构，用于输入该研磨垫半成品；以及一可移动刀具，用于切割该研磨垫半成品，其中，当进行切割时，该可移动刀具沿着一第一方向运动，该研磨垫半成品沿着一第二方向运动，且该第一方向与该第二方向之间具有一夹角。