发明名称 DEVICE CLEANING WAFER IN TRANSFER EQUIPMENT
摘要 본 발명은 순환 기체의 분사와 동시 흡입에 의한 각종 물질과 물체류의 이송운반 및 청소장치에 관한 것이다. 이를 구현하기 위한 본 발명은 유체순환장치에서 분사 및 흡입되는 순환유체를 이용하여 바닥면에 붙어 있는 오염물질들을 제거하는 순환 기체의 분사와 동시 흡입에 의한 각종 물질과 물체류의 이송운반 및 청소장치에 있어서, 내부에는 챔버가 형성되며 그 하단 둘레면을 따라 오염물질들이 붙어 있는 바닥면에 밀착되어 지는 격막이 조립 구성된 차단관, 상기 차단관의 챔버에 일단이 연결되고 타단은 상기 유체순환장치의 토출구에 연결 설치되어 순환유체를 상기 바닥면으로 분사시켜 상기 바닥면에 붙어 있는 오염물질을 상기 차단관의 챔버로 분산시키는 공급관, 상기 공급관의 외경에 흡입통로를 사이에 두고 끼워지며 끝단은 상기 차단관의 선단에 결합되어 상기 공급관에서 분사되는 순환유체의 압력으로 분산된 오염물질을 순환유체와 함께 상기 흡입유로로 흡입시키는 흡입관, 상기 흡입관의 선단에 연결 설치되며 상기 흡입관에서 흡입된 유체에 포함되어 있는 오염물질을 걸러 제거시키는 제 1차집진장치 및 상기 제 1차집진장치의 선단에 연결되며 상기 제 1차집진장치에서 오염물질들이 걸러진 순환유체를 상기 유체순환장치로 흡입시키는 흡기관을 포함하여 구성함을 특징으로 한다.
申请公布号 KR20160149656(A) 申请公布日期 2016.12.28
申请号 KR20150087093 申请日期 2015.06.19
申请人 여영호;윤영환 发明人 여영호;윤영환
分类号 A47L5/14;A47L9/16 主分类号 A47L5/14
代理机构 代理人
主权项
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