发明名称 DISPOSITIF ET PROCEDE POUR DETECTER DES DEFAUTS DANS DES ZONES DE LIAISON ENTRE DES ECHANTILLONS TELS QUE DES WAFERS
摘要 La présente invention concerne un dispositif de mesure pour contrôler une zone de liaison (18) entre des échantillons (16, 17), comprenant (i) un interféromètre à faible cohérence illuminé par une source de lumière polychromatique avec un bras de mesure traversant ladite zone de liaison (18) et un bras de référence, (ii) au moins un détecteur optique (10) et des moyens de conditionnement optiques et/ou mécaniques (15) agencés pour permettre l'acquisition d'au moins deux mesures d'interférences avec des conditions de phase différentes entre un faisceau optique de mesure (21) issu du bras de mesure et un faisceau optique de référence (20) issu du bras de référence ; et (iii) des moyens de calcul (25) agencés pour calculer une information de contraste desdites interférences, et rechercher sur la base de ladite information de contraste des défauts (19) dans ladite zone de liaison (18).
申请公布号 FR3033643(A1) 申请公布日期 2016.09.16
申请号 FR20150052076 申请日期 2015.03.13
申请人 FOGALE NANOTECH 发明人 PERROT SYLVAIN
分类号 G01N21/892;G01B9/02;H01L21/66 主分类号 G01N21/892
代理机构 代理人
主权项
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